超純水を初の国産化、SKの半導体工程に投入　日本依存に風穴

韓国独自技術で生産した超純水が、初めて実際の半導体製造工程に供給される。日本や米国企業への依存度が高かった超純水分野で国産化の実証が進み、先端産業向け水インフラの自立に向けた基盤が整う。

韓国の気候エネルギー環境部は5月19日、慶尚北道亀尾市のSKシルトロン事業場で「高純度工業用水（超純水）生産の国産化技術開発事業」の成果活用協約式を開き、超純水の実証設備に関する技術移転を進めると明らかにした。

超純水（Ultra Pure Water）は、水中のイオンや有機物、溶存酸素などを極微量レベルまで除去した超高純度の工業用水を指す。半導体ウエハー表面の洗浄や化学物質の希釈など微細工程に不可欠で、「半導体の血液」とも呼ばれる。ごく微量の汚染物質が残るだけでも歩留まりや品質に影響しうるため、高度な水処理技術が要る。

これまで韓国の半導体業界は、超純水の生産技術を日本やフランスなど海外企業に大きく依存してきた。特に生産設備の設計分野では、栗田工業や野村マイクロ・サイエンスなど日本企業が韓国市場の大半を占める。施工や運営も、ベオリア（Veolia）など世界大手が主導してきた。

気候エネルギー環境部は技術依存を下げ、水産業の競争力を高めるため、2021年から超純水生産技術の国産化事業を進めてきた。今回の実証設備は、設計・施工・運営の全工程に韓国の技術を適用した点が特徴だ。

実証設備はSKシルトロンの亀尾事業場に設置され、性能検証を終えた。有機物除去用の紫外線酸化装置、溶存酸素除去用の脱気膜、イオン除去用のイオン交換樹脂など、超純水の中核工程に韓国企業が開発した装置や素材を採用した。

今回生産した超純水は、実際の半導体用ウエハー生産工程に供給する予定だ。韓国の設計技術に基づく超純水が実際の半導体製造ラインに投入されるのは初めてとなる。

業界では、人工知能（AI）と半導体産業の拡大に伴い、超純水の重要性が一段と高まるとみる。世界の超純水市場は2022年の約29兆ウォン（約3兆1900億円）から、2028年には35兆ウォン（約3兆8500億円）規模に拡大する見通しだ。

政府は今後、超純水生産の全工程の国産化に加え、下水再利用を基盤とする超純水生産技術の開発も進める計画だ。気候危機に伴う工業用水不足の可能性に備え、先端産業向けの安定した用水供給体制を築く狙いがある。

キム・リアン記者 knra@hankyung.com